In dieser Vorlesung werden Herstellungsprozesse von relevanten Halbleiterbauelementen für Höchstfrequenz-Anwendungen vorgestellt, für den Frequenzbereich bis 3 THz = 3000 GHz
- Lehrende(r): Patrick Häuser
- Lehrende(r): Nils Weimann
In dieser Vorlesung werden Herstellungsprozesse von relevanten Halbleiterbauelementen für Höchstfrequenz-Anwendungen vorgestellt, für den Frequenzbereich bis 3 THz = 3000 GHz