Liebe Studierende,

willkommen auf der Moodle Seite für die Veranstaltung Nanotechnologie 2 des Lehrstuhls Werkstoffe der Elektrotechnik (WET). Die Vorlesung und Übung finden in diesem Semester wieder in Präsenz statt. Den Einschreibeschlüssel für den Moodle-Kurs erhalten Sie in der Vorlesung.

Bei Fragen wenden Sie sich bitte an Laura Kampermann.

Zum Inhalt der Veranstaltung:

Nanostrukturen und nanostrukturierte Bauelemente auf Festkörperbasis haben, oft unbemerkt, in den letzten Jahren Einzug in unseren Alltag gehalten. Halbleiter-Laser, Speicherbausteine oder Leseköpfe für magnetische Speichermedien seien als herausragende Beispiele genannt. Die Herstellung solcher Elemente ist meist eine sehr vielschichtige Abfolge verschiedener Prozesse und Technologien.

Die Veranstaltung bietet einen Überblick über die Verfahren zur Herstellung komplexer Nanostrukturen und Bauelemente auf Festkörperbasis. Dies beinhaltet die Themen-Schwerpunkte (a) Basistechnologien in der Nanostrukturierung; (b) epitaktische Verfahren; (c) lithografische Techniken und (d) 3D Strukturierung und Anwendungsbeispiele.